18. Magnetronu izputināšanas procesos iesaistīto mezglu ietekmes detekcijas, optimizācijas un kontroles iespēju izpēte un automatizēta pārklājumu procesa vadības tehnoloģijas izstrāde izmantojot atgriezeniskās saites no pārklājuma un plazmas īpašībām

PĒTĪJUMS NOSLĒDZIES, IZVIRZĪTIE MĒRĶI IR SASNIEGTI.

Magnetronu izputināšanas procesos iesaistīto mezglu ietekmes detekcijas, optimizācijas un kontroles iespēju izpēte un automatizēta pārklājumu procesa vadības tehnoloģijas izstrāde izmantojot atgriezeniskās saites no pārklājuma un plazmas īpašībām. Projekta rezultātā tiks izstrādāts vakuuma pārklājumu procesu automatizētas vadības sistēmas prototips, kas ietvertu pēc iespējas visus dažādu materiālu pārklājumu kvalitāti ietekmējošos parametrus un dotu iespēju kontrolēt un automatizēt pārklājuma procesus izmantojot arī ekonomiskus alternatīvos sensorus.

Īstenotājs: Sidrabe Vacuum, SIA

Rezultāti prezentēti  un apstiprināti projekta uzraudzības padomes sēdē.

Pētījumu rezultātu publikācijas:

Changes in structure and condition type addition of Ir to ZnO thin films

Optical properties of zinc-iridium oxide think films

Structure, optical and vibrational properties of nanocrystalline zinc peroxide” for consideration by the Optical Materials